[01005936]等离子体辉光放电超高频(VHF)电源
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技术详细介绍
该项目利用该超高频制备系统，可以在不降低材料质量的条件下高速沉积非晶硅材料（1nm/左右）和电池，还可在适当的氢稀释条件下高速沉积晶化硅薄膜材料（0.6nm/左右）和太阳能电池。故可进一步提高硅基薄膜太阳能电池的产品产率，从而降低太阳能电池制造成本。一般超高频辉光放电设备存在VHF电源功率辐射损失大和难以匹配等困难。该项成果在国内首先成功解决了VHF电源功率辐射损失大和难以匹配等关键问题，研制成功国内第一台用于沉积硅基薄膜材料和太阳能电池的超高频辉光放电多功能薄膜制备系统。该技术在硅基薄膜太阳能电池的研究和生产中有广泛的应用前景，对我国太阳能电池产业的发展有十分重要的意义。