[01058595]高精度非接触平晶检定仪

立项背景、重要性及意义：中国平晶平面度的测量方法主要是利用平面等厚干涉仪进行测量，将被测件放置于标准平晶表面以微薄片隔开，形成等厚干涉条纹，通过人工读取干涉条纹弯曲量与干涉条纹间距，计算平晶的工作面平面度。该方法测量的效率低下、容易划伤检测对象且局限于定性检测，不能实现平晶检测快速、无损、定量检测。该项目主要内容就是研制一套平晶检定仪，既可以用以点代面的测量方法测量平晶平面度，又可以测量平晶整个平面的平面度，同时显示三维面型，以适应现代平面度测量的发展趋势。主要科技内容：该项目主要创新点如下：组合模块化设计的工程化实现：项目创新性地提出了仪器核心部件模块化设计理念，不同的组合模式能够更灵活地满足不同检测需求和价格需求，并且大大降低成本(发明专利：ZL201210249906.8，ZL2006100927107，实用新型专利：ZL201220350584.1，ZL201200233502.5)；菲索干涉仪与相移技术：平晶平面度检定仪首次创新性地采用菲索干涉仪结构和相移式测量方式，系统抗干扰性强，且能够得到较高的测量精度，消除传统检测带来的系统和环境误差(发明专利：ZL2012101960837，实用新型专利：ZL201220280186.7，ZL2013207357082)；实时干涉成像技术：本次项目通过实时数据采集将干涉图像加以解析，显示2D和3D图形以及纵/横切面曲线，同时使用R参数对表面形貌进行描述，较同类仪器测试效率提高1倍以上，引领中国平晶检定仪的先进水平(发明专利：ZL201210161691.4，实用新型专利：ZL201320103528.2，ZL2013207356624)。技术经济指标、经济与社会效益：该项目共投入总经费125万元。截止项目验收前，实现公司新增产值340万元，实现公司销售收入260.92万元，新增税收24.45万元。其社会效益有：针对性地解决现有仪器的测试环境需求过高、效率低、精度低、成本居高不下等方面问题。苏州慧利仪器有限责任公司参与起草国家平晶检定新规程，将促进中国几何量计量量值传递水平的提升。该项目完成，可提升中国光机高端研发和制造水平，打破国外技术封锁，提升“中国创造”产品的品质。科技查新报告显示该项目具有可模块化组合和低成本等特点的无损检定仪是工业加工现场检测需求的新方向，建议核心技术申请发明或实用新型专利，以形成自主知识产权。行业推动及产业价值：该项目重点提出可模块化组合的设计理念，采用该思想研制的激光干涉仪具有高精度、小型化、组合式、低成本、抗干扰能力强的特点，广泛用于光学加工元器件等多种领域。整个项目研发实施，完成了预定的设计指标，实现了项目仪器的工程化，并为该仪器的产业化提供了坚实的基础和条件。