技术详细介绍
本发明提供一种对扭转振动的阻力及共振频率高的架构件。能够得到架构件及包括该架构件的曝光装置,所述架构件具有蜂窝结构体,所述蜂窝结构体具备方形柱状的空隙部,且配置为构成该空隙部的壁与扭转变形的方向垂直。架构件的蜂窝结构体优选由陶瓷构成。
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