[01131557]容器内表面化学气相沉积涂层方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种容器内表面化学气相沉积涂层方法,该方法可以解决只有一个开口的 容器,或者单向多个开口容器,或者有两个开口但其夹角小于90°、或者两个开口未开在沿 容器最长方向两端的容器内表面涂层的制备。利用容器开口（2）连接一进气管（3）,向容器 （1）内插入一根导流管（4）,导流管内口（4a）插到容器最长方向的顶端,作为尾气排出通 道,反应气体在容器内表面沉积后,尾气通过位于容器内部的导流管内口（4a）通过导流管 （4）排出,导流管外口（4b）处连接真空泵,沉积过程中容器内压强始终保持一定值,可采 用常压或减压化学气相沉积。采用此方法可在容器内表面连续均匀地沉积涂层,并可降低生 产周期。