[01135532]新型高温压电晶体及传感器件
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技术详细介绍
由山东大学承担、山东本源晶体科技有限公司协助的“新型高温压电晶体及传感器件”项目,主要解决国内特种高温压电晶体及振动加速度传感器件短缺难题,力争实现进口替代。 高温压电传感器具有结构简单、灵敏度高、稳定性好、寿命长、工作温度范围宽等优点,在高温传感技术领域有着独特优势。高温压电传感器是航空航天、核电能源等领域用关键电子元器件,而目前工作温度超过482℃的振动加速度传感器几乎全部被国外公司所垄断。为打破国外技术壁垒,填补我国高温压电传感技术空白,山东大学及本源晶体科技有限公司携手潜心研发,通过关键功能基元调控技术设计生长了具有近零温漂特性的高温压电晶体材料,利用压电性能的各向异性优势,研制了兼具高压电活性且温度稳定性优异的压电灵敏元件。研发了压电灵敏元件的精密制备技术并研制了可在650℃以上高温环境长时间服役的高温压电振动加速度传感器。新型器件在高温下的动态传感性能超过了国外同类型产品,相关成果申请多项国家发明专利和实用新型专利。