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1、靶极外套材料铸造Al-Si-Y合金成分的优化
通过研究不同成分的Al-Si-Y合金涂层的抗氧化、耐热腐蚀性能的测定,确定Si、Y两种合金元素的最佳成分。最终优化出Al-Si-Y合金的最佳成分范围。
2、靶极外套铸造工艺优化
靶极外套材料为铸造的Al-Si-Y合金。目前国内尚无单位开展过该合金的研究工作,也无相关的标准和资料可查。同时,根据靶极的工作状态、作为挥发阴极要求材料本身必须致密,无非金属夹杂、气孔、缩孔、疏松、针孔等影响导电性的缺陷,以保证涂覆的连续性,对铸造过程的质量控制要求极高。为解决外套材料的铸造工艺关键,拟采取以下技术措施:
(1)开展Al-Y中间合金成分的研究,确定最佳的中间合金化学成分;
(2)Al-Y中间合金真空冶炼工艺研究;
(3)Al-Si-Y合金熔化工艺的研究;
(4)外套铸造工艺的研究。
3、内、外套钎焊技术
因铝硅钇合金阴极蒸发只能在阴极的“冷”工作状态下进行,同时为避免阴极熔化,阴极应当用低熔点钎料钎焊在水冷内套上,以强制冷却。
焊缝只有0.8mm,如果钎焊质量不好,会造成阴极过热,导致阴极或钎焊料熔化,直接影响涂敷过程的稳定性和涂层质量,甚至污染零件,因此钎焊工艺是该项目的又一关键技术拟采取以下技术措施:
(1)外套内表面、内套外表面活化技术(化学镀铜、镀锡工艺)的研究;
(2)钎焊料成分的优化;
(3)钎焊工艺的研究。
4、涂镀工艺实验研究:
(1)优化真空离子电弧涂镀工艺。
(2)优化AlSiY涂层的真空热处理工艺。
5、AlSiY涂层抗氧化、耐蚀性能机理研究:
(1)通过对涂层中Al、Si、Y三种元素的显微形态研究,确定三种元素在涂层抗氧化、耐蚀性能的影响;
(2)涂层真空热处理扩散机制研究。
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