[01265540]碳纳米管薄膜微机械红外探测器
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技术详细介绍
本发明公开了一种结构简单，具有极高的分辨率和宽光谱响应范围，灵敏度高，成本低，工艺简单的碳纳米管薄膜微机械红外探测器，包括一基座和基底材料，基座和基底材料构成微机械;
在基底材料的上表面生长有碳纳米管薄膜，在基底材料的下表面刻有拾取电路;
作为光辐射吸收材料，由于碳纳米管薄膜对红外辐射的吸收系数η可达0.98，从而使其具有高的灵敏度和小的噪声等效功率，以提高该类探测器的探测能力。
微机械谐振器通过MEMS加工工艺制成，可进行批量生产，从而降低器件的成本。