[01269553]卷对卷微纳压印关键技术与应用

课题来源与背景

课题来源：江苏省科技支撑（BE2008056）、国家863（2009AA04Z325）、江苏省重大成果专项（BA2006032）、科技部中小型企业创新基金（06C26113201056）、国家重大研究计划重点项目（910230）、国家发改委产业化专项（发改委高技[2007]2453 号）、工信部电子基金（部运[2008]97 号）

立项背景：微纳制造是新兴产业先导性与共性技术，涉及平板显示照明上游关键材料、MEMS、LED照明、新型环保印刷和公共安全等领域，有巨大市场需求。长期以来，我国企业和高等院所的微纳加工设备依赖进口，自主研制微纳加工设备鲜见报道，这严重制约了我国行业新产品创新和竞争力。因此，研制具有自主核心技术的装备、实现微纳结构器件与材料低成本制造，对推动我国纳米新产品开发和行业技术进步有重大意义。

国际上，各主要国家研究面向产业的纳米技术研究，推进从纳米制备（Nano-Fabrication）向工业化纳米制造（Nano-Manufacturing）发展。卷对卷纳米压印技术就是其中最可能实现批量制造的纳米技术，有重大应用价值。

技术原理及性能指标

研制成功卷对卷纳米压印设备，突破了连续压印的关键技术瓶颈，攻克了大尺寸微纳结构模具制备的紫外激光直写设备和工艺难题，实现了几类微纳结构材料与器件产业应用。

技术指标：

（1）卷对卷纳米压印设备性能：在门幅1300mm的基材[PET（15～150um），PC（75um～0.7mm）]上，实现了结构100nm～30um的高速压印（60米/分），1.2万米卷径的连续纳米压印，恒张力、恒温、恒压和变形量实时伺服控制功能。

（2）金属模具幅面1300mm×700mm，结构100nm～30um。

（3）适用于柔性微纳器件和材料批量制造。本项目技术实现了工业化应用，国内外其他同类工作处于实验室阶段。

技术的创造性与先进性

项目获得发明专利授权12项，其中，中国专利优秀奖1项、苏州市十大优秀专利奖1项。项目通过了庄松林院士、崔铮、刘旭（浙大国家重点实验室主任）、黄庆安（东大，长江学者）、尹周平（华工，长江学者）组成专家验收委员会，认为项目完成了项目合同规定的各项技术与经济指标，在微纳柔性制造和产业化应用具有国际领先水平和显著研究特色。

④技术的成熟程度，适用范围和安全性; 项目实现了规模化应用在微纳制造方面，形成了核心技术与手段，为对外合作奠定了重要基石。与京东方、龙腾、友达光电、LG、SAMSUNG、中科院苏州纳米所等单位合作。涉及超薄导光板、LED图形化、柔性显示（光子晶体材料与器件、透明导电薄膜、OLED增亮）、偏振材料、立体显示材料、高端防伪器件与材料、MEMS加工、精密掩膜等。

⑤应用情况及存在的问题 基于我国行业现况，项目率先在LED显示照明、高端公共安全、无油墨印刷包装等行业推广，实现了规模应用。如通过纳米结构设计，利用正交纳米线栅结构（低-高-低折射率）实现了双视觉通道的光变色图形，并通过卷对卷纳米高保真压印技术实现了批量和低成本制造。08年来，成功应用于我国驾驶证和行驶证等，为国家公共安全做出了重要技术贡献，产生巨大社会安全效益。

研制成功“薄型菲涅耳透镜+光变图像-立体图像光学薄膜”，成功在包装业产业化应用，填补这种新材料的行业空白，作为环保、安全型印刷包装材料，已应用于蓝色经典（菲涅耳透镜技术）、云烟（亚银光变色光柱技术）等高端品牌。

近三年，应用单位新增销售35.7亿;新增利润3.38亿;新增税收2.29亿元。

其中，2011年6月，维格光电公司实现6亿元直接销售，1.5亿元利税。

历年获奖情况：获得中国专利优秀奖。