[01327920]一种Ti基LTCC微波介电陶瓷材料及其制备方法
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技术详细介绍
本发明属于电子陶瓷材料及其制造领域，具体涉及一种Ti基LTCC微波介电陶瓷材料及其制备方法。
本发明首先将（Mg0.95Co0.05）2TiO4与Li2TiO3进行复合，然后再借助LMZBS玻璃掺杂助熔来实现整个材料体系的900～950℃低温烧结。
最终实现在900℃低温烧结下最佳性能可达到介电常数：εr＝16.6，Q×f＝125800GHz，τf＝1.4ppm/℃。
本发明兼具超低损耗、近零谐振频率温度系数以及低温烧结的高性能，其介电常数εr为16.6～17.1，Q×f值为88400～125800GHz，谐振频率温度系数τf为1.3～5.1ppm/℃。
可广泛应用于LTCC微波基板、叠层微波器件和模块中。