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[00133995]一种三明治式透明导电薄膜及制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他新材料技术

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过中试

专利所属地:中国

专利号:201110435160.5

交易方式: 技术转让

联系人: 上海纳米技术及应用国家工程有限公司

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所在地:上海上海市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

发明专利名称:
一种三明治式透明导电薄膜及制备方法

发明专利简介:
本发明提供一种三明治式结构的透明导电薄膜,其特征在于,所述透明导电薄膜的模系氧化锌/铜/氧化锌。所述氧化锌薄膜的厚度为20-400nm,所述铜膜的厚度为2-8nm。本发明还提供一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法,即运用原子层沉积或磁控溅射方法制备高质量的氧化锌薄膜作为底层薄膜和上层薄膜,运用磁控溅射方法制备铜薄膜作为中间层。铜膜厚度在2-8nm范围时,这种三明治式透明导电薄膜,同时具有优异的电导性能和良好的光学透过率,技术参数达到可商业化应用的水平。

发明专利名称:
一种三明治式透明导电薄膜及制备方法

发明专利简介:
本发明提供一种三明治式结构的透明导电薄膜,其特征在于,所述透明导电薄膜的模系氧化锌/铜/氧化锌。所述氧化锌薄膜的厚度为20-400nm,所述铜膜的厚度为2-8nm。本发明还提供一种三明治式结构的透明导电薄膜的制备方法,即运用原子层沉积或磁控溅射方法制备高质量的氧化锌薄膜作为底层薄膜和上层薄膜,运用磁控溅射方法制备铜薄膜作为中间层。铜膜厚度在2-8nm范围时,这种三明治式透明导电薄膜,同时具有优异的电导性能和良好的光学透过率,技术参数达到可商业化应用的水平。

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主办单位:辽阳市科学技术局

技术支持单位:科易网

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