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[00134392]肖特基型室温核辐射探测器及其制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 纳米及超细材料

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200810019835.6

交易方式: 技术转让

联系人: 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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所在地:江苏苏州市

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产权明晰
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对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

本发明公开了一种肖特基型室温核辐射探测器,包括以GaN基底形成的肖特基结构、肖特基电极和欧姆电极,其特征在于:所述GaN基底为厚膜结构,其厚度为100um~200um,所述肖特基电极和欧姆电极分别位于GaN基底的两侧表面上。由于本发明使用的GaN材料具有宽禁带宽度、高电阻率、大原子序数、强共价键结合、高熔点、高击穿电场、抗腐蚀、抗辐射等优良性能,制备的室温核辐射探测器具有良好的室温灵敏度、探测效率和稳定性,更适用于强辐射场的探测领域。同时,本发明的制造工艺简单,成本低廉,适于工业化推广。
本发明公开了一种肖特基型室温核辐射探测器,包括以GaN基底形成的肖特基结构、肖特基电极和欧姆电极,其特征在于:所述GaN基底为厚膜结构,其厚度为100um~200um,所述肖特基电极和欧姆电极分别位于GaN基底的两侧表面上。由于本发明使用的GaN材料具有宽禁带宽度、高电阻率、大原子序数、强共价键结合、高熔点、高击穿电场、抗腐蚀、抗辐射等优良性能,制备的室温核辐射探测器具有良好的室温灵敏度、探测效率和稳定性,更适用于强辐射场的探测领域。同时,本发明的制造工艺简单,成本低廉,适于工业化推广。

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