[01361382]动力学压印反射式光栅的制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了动力学压印反射式光栅的制作方法,该方法基于传统光刻工艺制作成本随加工精度的提高急剧增加,传统压印工艺加工速度无法满足实际需求,加工精度有待提升的要求,合理设计和制造出连续辊压印与刻划技术相结合的大量程光栅制造工艺。该方法采用电子束制备辊压印光栅模具,模具表面为平行排列的圆环状凸起微结构。基底采用三层结构,依次为从上至下金属层、聚合物层以及垫层。加工过程中,通过压印辊自身的转动及其与基底的相对滑动,批量制造出大量程光栅。