技术详细介绍
本实用新型公开了一种直写制备聚合物光波导的装置,其特征在于:气源通过气管与压力控制装置相连,压力控制装置通过施压气管与微细笔相连,用于控制施压气管中气流的通断和调节气压大小,并向微细笔的储料腔中的浆料提供所需的压力。采用本实用新型直写装置可以在已有的整体下包层上直写芯层,它具有工艺简单(不需要制作掩模-光刻等复杂的工艺),设备造价低、效率高,制作周期短等特点。本实用新型便于将直写技术与现有的半导体工艺相容,如制备掩埋型的聚合物光波导器件的工艺与IC工艺相容,有利于实现光电器件的集成制造。