[00142637]自旋微波振荡器及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：201310256808.1
交易方式：
技术转让
联系人：
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
进入空间
所在地：江苏苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供一种自旋微波振荡器的制备方法，包括如下步骤：在氧化铝模板上制备贯穿所述氧化铝模板正面和背面的
通孔，并利用磁控溅射或电子束蒸发在所述氧化铝模板背面制作导电层；采用三电极沉积系统在所述通孔内从下至上依次沉积底电极层、磁性多层膜、顶电极层；其
中，所述磁性多层膜包括从下至上依次沉积的第一磁性层、非磁性隔离层、第二磁性层。本发明还提供这种自旋微波振荡器的结构。本发明的方法可以自下而上自组
装高度有序的均一性很好的自旋微波振荡器阵列，并且可以同一通孔中沉积多个纳米自旋微波振荡器，形成含有多个纳米自旋微波振荡器的纳米线，增大了器件的输
出功率，具有广泛的使用范围。
本发明提供一种自旋微波振荡器的制备方法，包括如下步骤：在氧化铝模板上制备贯穿所述氧化铝模板正面和背面的
通孔，并利用磁控溅射或电子束蒸发在所述氧化铝模板背面制作导电层；采用三电极沉积系统在所述通孔内从下至上依次沉积底电极层、磁性多层膜、顶电极层；其
中，所述磁性多层膜包括从下至上依次沉积的第一磁性层、非磁性隔离层、第二磁性层。本发明还提供这种自旋微波振荡器的结构。本发明的方法可以自下而上自组
装高度有序的均一性很好的自旋微波振荡器阵列，并且可以同一通孔中沉积多个纳米自旋微波振荡器，形成含有多个纳米自旋微波振荡器的纳米线，增大了器件的输
出功率，具有广泛的使用范围。
