技术详细介绍
本发明揭示了一种机械手操作系统，包括真空腔室、位于真空腔室内的双头机械手以及位于真空腔室外的驱动装置，所述的双头机械手和驱动装置之间设有传动装置，驱动装置通过传动装置将动力传递至双头机械手，并驱动所述双头机械手进行双向伸缩、升降和／或旋转，所述传动装置包括至少一个波纹管，该波纹管密封于所述驱动装置和双头机械手之间。由于采用了波纹管密封，故而能在真空度优于10-8Pa的超高真空环境中使用。又由于双头机械手的双头伸缩模式能传送两种不同类型的物品，既提高了操作效率，又提高了灵活性，比如其一头可用来传送较重的样品托，另一头可用来传送较小的样品。而且，最大传送距离大于真空腔室的半径，可达到腔体半径的1.6倍，最大程度的利用所在腔室的空间。