[01424257]基于MEMS技术的微型动态压阻压力传感器

本项目属电子技术与仪器仪表领域。本项目针对我国军工、医学、大坝、桥梁、建筑等行业对具有原位测量、抗干扰、动态特性好、精度高等优异性能的微型动态传感器的需求，突破国外技术封锁，开展微小型及特殊形状的高频动态压力传感器的研究。提出了复杂结构的微机械（MEMS）设计技术与双面腐蚀成型的梁－岛－膜复合结构工艺技术，得到高线性精度；实现了各向异性腐蚀的精密控厚技术，获得极薄的膜结构；国际上首次提出了微型微压无应力封装技术，提出了传感器准齐平设计技术，彻底消除了管腔效应，提高了传感器的动态频响。　　传感器达到的技术指标：　　（1）外形尺寸：?2㎜（即CYG502动态超微型压力传感器）、?3㎜（即CYG503动态微型压力传感器）、?5㎜（即CYG505动态微型水工压力传感器）、?6㎜（即CYG506动态微型微压压力传感器）、?8㎜（即CYG508动态微型高压压力传感器）；　　（2）非线性：0.2﹪FS，重复性：0.1﹪FS，迟滞：0.1﹪FS；　　（3）温度系数：1×10-4/℃·FS，时间稳定性：0.1﹪FS；　　（4）动态响应特性：优于100KHz，上升时间小于2μs；　　（5）?8㎜（即CYG508型）属于高压超高频产品，固有频率优于300KHz，上升时间小于1μs。　　本系列产品在技术上处于国内首创，国际先进水平。　　在国家重大军工、重点工程以及民用项目中得到广泛应用。该系列产品因其技术含量高，行业渗透能力强，产品在昆山双桥传感器测控技术有限公司投产近三年（06～08年），公司已实现新增销售1202万元，利润141万元，税收162万元。市场前景广阔，经济效益好。应用该产品所产生的间接经济效益巨大，特别是打破了微型动态传感器由国外垄断和技术封锁的局面，进一步拉近我国与国外同行的差距，相当程度上提升了江苏省在先进传感器领域的科技地位。　　该项目研究相关专利成果分别获得了2006年昆山市优秀专利奖、2006年苏州市优秀专利奖、2007年江苏省专利奖、2008年中国优秀专利奖。