[01467204]AZO包覆玻璃衬底上电场辅助Al诱导方法制备高质量多晶硅薄膜研究
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技术详细介绍
该成果开展了以发展硅基薄膜太阳电池中多晶硅薄膜制备技术为目的的有益探索,系统研究了电场辅助Al诱导方法制备高质量多晶硅薄膜及其性能表征。系统比较了RTA退火和常规退火方式对AIC方法制备poly-Si薄膜结晶过程以及薄膜微结构的影响,研究了a-Si：H薄膜前驱体中H对AIC方法制备poly-Si薄膜晶化快慢的影响,从分子结构角度阐明Si、H原子不同成键方式对薄膜晶化速率的影响规律;同时对薄膜退火过程中辅助电场的不同施加方式对薄膜晶化过程的影响进行了研究,表明垂直辅助电场有利于加速薄膜的晶化过程,进一步缩短薄膜的晶化时间。研究结果有望进一步推动硅基薄膜太阳电池的研究和开发,为相关产业提供发展思路和科学依据。