[01480714]基于离子交换的脊形光波导器件
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技术详细介绍
该基于离子交换的脊形光波导器件的制作技术包括：（1）将整片制作波导的基底材料放入熔融的硝酸钾熔液中进行离子交换,以能形成波导为判断标准,最终得到平板波导;（2）用预先设计好的掩模版进行光刻,然后在做好光刻的基底上蒸发一层金属Cr或Ni,蒸发完成后进行剥离,使得基底上的金属图形为预先设计图形,然后进行干法刻蚀,得到脊形波导。该成果与硅基二氧化硅波导相比,由于采用离子交换技术制作波导,不需要薄膜沉积,成本更低,工艺更简单。和传统扩散波导相比,由于采用了刻蚀的脊形波导,对光的限制更好。特别是制作的器件要求有空气槽或者反射面时,该技术更为简便。