[01486903]工模具PCVD表面陶瓷化成套工业技术
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技术详细介绍
脉冲直流PCVD工模具表面强化的技术原理是：在专用的PCVD设备中，在一定的温度、气压条件下通入一定比例的工作气体，利用等离子场的能量，促成化学反应，在工模具表面形成耐热、超硬强化层。研制出的专用PCVD设备采用独特设计的内热式加热系统，真空室内安装发热器件，比外热式显著提高了热效率及加热速率；逆变式脉冲直流电流频率范围大、负脉冲深度可调，有利于制备导电性不良或绝缘的镀层；流量控制系统采用5路质量流量计分别控制H<,2>、N<,2>、CH<,4>、Ar等工作气体；系统配备两个蒸发器，可以分别蒸发两种卤化物气体，使之具有制备多元、多层和复合镀层的能力。该技术具有：镀膜温度大大降低（500℃），基材范围拓宽；镀层涂敷均匀，性能稳定；等离子体渗、镀同炉完成，工艺简化，效率高等特点，适用于机械、冶金、电子、建材、化工、航天等领域。经两年多的生产试验，可提高工模具寿命一倍，节约钢材50％。