[01493414]一种应用于共烧陶瓷技术的超薄生瓷带的制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种应用于共烧陶瓷技术的超薄生瓷带的制作方法,属于电子材料与工艺技术领域。本发明采用光刻的图形转移原理,首先在感光胶中均匀分散陶瓷粉料,加入有机溶剂制得感光陶瓷复合溶液;然后通过旋涂工艺使得感光陶瓷复合溶液涂敷在固定的基板上形成均匀、无缺陷的薄膜;在制得的薄膜上覆盖特定掩膜板,经过曝光、显影处理形成目标图形,最后烘干、固化制得生瓷片。本发明制备出的生瓷带厚度小于10μm,解决了传统流延工艺制备的生瓷带膜厚极限的问题,可以实现在相同的器件尺寸下增加布线层数的要求;同时,本发明结合光刻胶材料的图形转移原理,解决了陶瓷生瓷带图形加工工艺问题,可提高组装密度、生产效率和可靠性。