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[00150444]耐深紫外激光辐照特种玻璃

交易价格： 面议

所属行业： 纳米及超细材料

类型： 非专利

技术成熟度： 正在研发

交易方式： 技术转让技术转让技术转让

联系人：厦门大学

所在地：福建厦门市

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技术详细介绍

　　一、项目特点

　　耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。

　　ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。

　　F2准分子激光157nm的透过率大于80%。

　　ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。

　　二、技术成熟度

　　掌握了控制性能的关键技术。

　　除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。

　　三、应用范围

　　深紫外光刻、光制导等

　　四、投产条件和预期经济效益

　　根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。

　　五、合作方式

　　各种研发合作方式。欢迎洽谈。