[01504713]集成红外屏蔽结构的太赫兹波室温探测单元及制备方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种集成红外屏蔽结构的太赫兹波室温探测单元及其制备方法,用于太赫兹波段的高性能探测。所述探测器的顶层是金属网格结构图形,作为过滤和屏蔽红外波段的结构;第二层为复合薄膜微桥桥面,其桥面顶部为亚波长结构金属图形,作为电磁谐振器,用于吸收特定频率的太赫兹波;底层为一个厚的金属层平面,其主要作用为增加电磁波磁场部分谐振吸收,减少透射。本发明不但具有高的吸收效率,同时对红外波段噪声能进行有效削弱和抑制,提升探测单元的信噪比,而且具有易集成、阵列化、尺寸小等优点,适用于室温工作、实时探测的太赫兹探测成像阵列探测器。