技术详细介绍
一种凸非球面光学元件的面型检测装置，涉及一种光学元件的检测装置。设有光源、反射镜、接收镜、检测平台、升降台和分析处理系统；反射镜设于光源光束前方，检测平台设于反射镜前方，接收镜设于光学元件前方，分析处理系统设于接收镜前方；检测平台自下而上依次设有垂直运动、摆动和回转机构；垂直运动机构设有底座、第1支承油腔、升降杆、丝杆电机、连接板、微调楔块和限位槽；摆动机构设有第3支承油腔、静压止推轴承、转轴、C轴工作台、摆动平台和伺服电机；回转机构设有马达和A轴工作台。结构简单，无机械效率损失，输出扭矩大，实现高定位精度、高动态响应和低噪声。具有承载能力高、旋转精度高、寿命长、均化误差等特点。