[01616563]新型半导体复合薄膜的制备与性能研究

复合薄膜是一类具有广阔应用前景的纳米材料，这类薄膜由于具有独特的性能而受到人们的广泛重视，鉴于此类薄膜在晶格、光电、压电、气敏、压敏等许多方面的优异的性能，在表面声波器件、太阳能电池、气敏和压敏器件等多方面的较为广泛的应用。因此，2008年课题组在吉林省教育厅申请并确立了“新型半导体复合薄膜的制备与性能研究”项目。之后，课题组立即进行了系统的研究工作。课题组进行了复合薄膜的制备及掺杂的文献检索工作，查阅了大量的索引并收集了与此相关的专利和文献，重点在ZnO/SiO2复合薄膜的制备及性能的研究。结合国内调研和课题组的前期工作，设计出可行的技术路线。技术路线确定后，课题组制备出高质量的ZnO/SiO2复合薄膜，并采用掺杂手段对其进行改性，选择了Ag进行掺杂改进复合薄膜的光学性能。项目研究过程中，课题组考察了实验条件对样品合成的影响，筛选出样品制备的最佳配方，合成出系列样品。采用X射线衍射、扫描电镜、投射电镜、红外光谱、紫外—可见光谱、荧光光谱等手段对样品进行了表征。然后课题组对表征结果进行了详细的分析，考察了掺杂手段对复合薄膜光学性能的影响，并对复合薄膜的结构进行分析，研究了复合薄膜的发光机制。所制得的复合薄膜具有优良的光学性能，在太阳能电池、气敏和压敏器件等方面有较为广泛的应用，具有一定的开发潜力。