[01632709]一种热释电红外器件的制备方法
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技术详细介绍
一种热释电红外器件的制备方法,包括： 1、在热释电敏感材料的两个表面上均制备金属薄膜电极,作为上、下电极; 2、在上电极表面制备红外吸收层; 3、采用紫外激光直写技术对热释电敏感材料、上电极和红外吸收层进行切割,激光功率为0.5～2W,重复频率为40～90KHz,激光切割速度为200～300mm/s,切割深度大于上电极与红外吸收层的厚度之和,且小于上电极、红外吸收层和热释电敏感材料的厚度之和。 本发明采用紫外激光直写技术制备线列或阵列单元,工艺简单,重复性好,且可通过激光切割工艺灵活调整单元和热隔离槽的结构和尺寸,可通过调整激光直写次数和激光功率精确地控制相邻单元之间热隔离槽的深度与宽度。