[01780437]凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件及其制作方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种凹槽绝缘栅型栅-漏复合场板功率器件及其制作方法,该器件自下而上包括衬底（1）、过渡层（2）、势垒层（3）、源极（4）、漏极（5）、绝缘介质层（7）、绝缘槽栅（8）、钝化层（9）、栅场板（10）、漏场板（12）和保护层（13）,该漏场板（12）与漏极（5）电气连接,该栅场板（10）与绝缘槽栅（8）电气连接,其中,势垒层上开有凹槽（6）;栅场板与漏场板之间的钝化层上淀积有n个浮空场板（11）。每个浮空场板大小相同且相互独立,且按照等间距的方式分布于栅场板与漏场板之间。n个浮空场板与栅场板和漏场板在钝化层上通过一次工艺完成。本发明具有工艺简单、可靠性强和输出功率高的优点,可制作大功率器件。