[01780859]用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管
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技术详细介绍
本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积设备的楔形反应管，包括石英管、感应圈、进气管、出气管、衬底、石墨舟、上法兰和下法兰，在石英管外套有感应圈，特征是：在反应室内安装有圆柱形罩，隔板将进气腔分隔为左进气腔和右进气腔，圆柱形罩的出气腔与出气管连通。顶板倾斜的圆柱形罩与衬底一起形成一个楔形的反应腔，反应腔的进气端宽，出气端窄。本发明还设计有衬底旋转装置。下法兰安装在升降杆的升降臂上。本发明具有能够将不同反应气体分别送入反应室、有助于反应气体形成良好的层流、使反应气体混合均匀、减小预反应、大大提高材料生长均匀性和送取样非常方便的优点。