[01791985]新型微传感器及系统

课题受国家863计划项目《微麦克风批量制造与实用化研究项目》和《汽车胎压与防撞微传感器及其系统》的支持,获得了铁电微麦克风批量制与实用化技术以及应用于汽车胎压监测（TPMS）和倒车雷达（CRAS）的微型压力、温度和超声传感器及应用系统,研究得到了微型传感器的设计、制作、测试和封装的关键技术以及相关应用电路系统的理论和设计、制作、测试技术。 课题解决了批量制作铁电微麦克风及实现较高加工成品率的关键技术,实现了实用化的铁电微麦克风产品。采用硅基铁电薄膜实现微麦克风的核心振膜结构。与其它类型的麦克风器件相比,它具有高灵敏度、宽频带、低功耗、低成本等显著特点。采用申请者及其课题组研究得到的兼容工艺方案及核心工艺技术。如有关的硅基铁电薄膜制备、刻蚀兼容集成技术等。解决了批量制作铁电微麦克风及较高加工成品率的关键技术,实现了实用化、批量化的铁电微麦克风产品,加工成品率达到了80%以上,获得了相关自主知识产权。 课题采用MEMS 工艺技术,设计实现了SOI 结构的新型压力温度单片集成传感器和无铅环保型超声测距传感器及其应用系统,其结构与工艺具有创新性,综合性能指标达到先进水平。研究结果具有独立自主知识产权,满足实用化要求,可提供小批量生产的工艺和技术。创新性实现了无铅环保超声倒车雷达系统,实现了低功耗、高可靠的轮胎压力监测系统。