[01809170]LINBO_3/金刚石多层膜SAW滤波器研究
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项目简介：由于声表面波(SAW)器件具有小型化、高可靠、多功能、一致性好以及设计灵活等特点，所以它在雷达、电子战、无线通信、光纤通信中正在获得广泛的应用。目前，急需高频率和／或大功率的声表面波(SAW)器件。例如，移动电话用小型射频(RF)SAW滤波器就是一个市场极好的产品，全球将长期稳定需求20亿只／年，中国约2亿只／年，1999年日本政府宣布：2005年2.5GHz小型射频(RF)SAW滤波器将用在手机上。常规的声表面波(SAW)材料（例如，石英、LiNbO_3、LiTaO_3和ZnO／蓝宝石等）很难达到要求。金刚石多层薄膜体系SAW器件可在在很高频率范围工作(1-5GHz)，具有超大功率通信的能力，生产成本上也将低于常规的SAW器件。