[01833891]高效大面积集成型非晶硅/微晶硅叠层太阳电池组件
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技术详细介绍
该项目采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）方法，根据需要引入各种不同气体，并控制相互之间的比例关系和总量，在一定的衬底温度和功率条件下，在特定的衬底上沉积完成具有各种光电性能的硅基薄膜，最终研制成高效大面积集成型非晶硅/微晶硅叠层太阳电池组件。该成果使我国与国际发展高效低成本微晶硅薄膜电池的先进制备技术处于同一水平；可移植到我国的非晶硅太阳电池生产线上，使产业有了后续技术储备，具有重大的经济效益；为我国新能源和可再生能源利用做出贡献。这一技术性成果对于我国微晶硅薄膜太阳电池的产业化、以及我国新型光伏产业的发展都具有重要的意义。