技术详细介绍
本发明公开了激光诱导等离子体进行仿形加工装置及方法，加工装置包括激光器、透镜组件、透明工件、工作台、可升降夹具和异形靶材；
该透明工件安装在可升降夹具且通过可升降夹具带动透明工件上下平移，该异形靶材固装在工作台且异形靶材具有基面和凸设于基面的模型，该透明工件和异形靶材基面上下平隔布置；
该激光器发出的激光束经透镜组件、透明工件辐射聚焦在异形靶材并与异形靶材发生相互作用产生等离子体，等离子体向透明工件下表面转移且透明工件上下平移以在透明工件下表面刻蚀仿形；
它具有如下优点：实现工业上的高精密加工质量需求，工序简单、使用灵活、容易实现、可靠。