[01916420]飞秒激光双光子聚合大面积快速精密加工设备
联系人：林洁琼 靖贤
所在地：吉林长春市
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技术详细介绍
双光子聚合加工商业化设备主要依靠进口，存
在着价格昂贵（300 万 ~450 万）、维护困难等问题。
项目组自主研发的飞秒激光双子聚合大面积快速精
密加工系统，能够完成复杂三维微纳结构的加工，
同时可实现光刻胶、金属离子溶液等材料的大面积、
高效、高质量加工以及在线观测。该装置由大行程
运动平台、三维微动平台、扫描振镜等组成，可实
现多种扫描方式的加工。自主研发的自适应分层、
拟静态曝光以及误差补偿技术，具有加工质量更好，
效率更高，加工尺度更大的优点，可广泛应用于高
等院校、科研院所以及医疗器械、微纳制造企业等，已应用于微流体、微电子、微光子、
MEMS、生物支架以及超材料等重要领域。