[01917734]真空泵用全国产化驱动控制系统
联系人：李静
所在地：山东淄博市
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技术详细介绍
真空泵是半导体制造过程中的关键装备， 目前国产化真空泵仅在半 导体生产的第一制程有应用，开发本驱动控制系统将国产真空泵的应用 范围由硅锭生长拓展到晶圆切割、晶圆镀膜、晶圆蚀刻及后续制程的多 个镀膜环节，可以实现芯片行业关键设备的自主可控。现有国产真空泵 驱动控制系统以中低速为主，采用多级泵串联的方式达到控制要求。但 是功耗高体积大，不利于高精度控制场合。本控制系统将真空泵的伺服 控制速度提升到一万转每分钟以上，实现控制系统电子元器件的全国产 化。在极大的提升控制系统的性能同时保证产品的供货稳定性。真空泵 的控制系统对标国外中高端产品，具有完整的知识产权和优良的控制精 度和稳定性。