[01917736]分子泵用全国产化驱动控制系统
联系人：李静
所在地：山东淄博市
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技术详细介绍
成果简介（包括应用 场景、解决的问题及 关键核心技术等）
分子泵是半导体制造过程中的关键装备，在半导体生产过程中分子 泵与真空泵配合使用以达到更高的真空等级。目前团队掌握 10 万转每分 钟及以上转速的分子泵驱动控制系统的技术，并且实现全国产化，相关 技术已经在骨科手术动力系统中得以产业化和小批量生产。该驱动系统 的核心技术有高速永磁电机的设计、生产和工艺，以及高速轴承系统的 应用；控制系统的高基波频率控制技术，以及器件级、板级、系统级的 软硬件全国产化。