[01918719]一种无损测量薄膜探针和测量仪器
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技术详细介绍
本发明提供一种无损测量薄膜的探针及测量仪器，包含导电针 体、导电弹性针头、固定环、感应收缩簧。感应收缩簧的感应 端超出导电弹性针头一定距离，能够监测到与纳米级厚度薄膜 的接触和接触后的应力大小，能够精准地控制再次推进时间， 使探针恰好接触薄膜而不损坏薄膜。该探针及测量仪适合对半 导体薄膜进行接触式无损、稳定、可重复的准确检测，同时也 适合推广到其它薄膜材料的电学检测。