[01918886]一种 3D 微/纳米结构的 构筑方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种 3D 微/纳米结构的构筑方法，包括以下步 骤：(1)在基板上固定材料源，抽真空处理；(2)聚焦电子束的 焦点在上述步骤(1)的材料源表面0- 100nm 的距离处，形成包 含有电子束焦点和表层原子的界面局域区； (3)控制电子束的 焦点按照设计的 3D 微/纳米结构逐点移动，实现 3D 微/纳米结 构的构筑。本发明的构筑方法，利用聚焦电子束焦点热辐射调 控材料源表层原子，使表面原子动能增加，进而克服表面能的 约束，自表面逃逸，同时界面局域区原子密度的不均衡及势能 差使材料源的表层原子向低密度区扩散，从而实现在微/纳米 尺度下三维结构的实时构筑，对纳米技术及 3D 打印的融合发 展起到推动作用，具有较好的应用推广价值。