[01919009]一种应用于脉冲激光 共沉积的靶托及安装 方法
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本发明提供了一种应用于脉冲激光共沉积的靶托及其安装方 法，包含靶材托底和靶材盖板，靶材托底周围设有凸起的周垣、 中间设有圆形凹槽，周垣上设置有多个螺孔，所述靶托与靶材 配合设置，靶材包括可被独立拆装的圆形靶材模块和圆环形靶 材模块，圆形靶材模块和圆环形靶材模块的侧壁上设有贯通 孔，贯通孔内设有贯通柱；所述靶材盖板上还具有两个相对设 置的调节区，贯通柱的两端部置于调节区内。本发明的靶托能 够在安装靶材的过早中设置并固定靶材的位置，有效的控制靶 材的被轰击位置。提高整个靶材的利用率，避免靶材局部损耗 而出现的凹坑，减缓靶材的报废速度。