[01919339]一种套装靶材的制备 方法
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技术详细介绍
本发明提供了一种套装靶材的制备方法，包含以下步骤，步骤 1，圆形靶材模块制备；步骤 2，一个或多个环形陶瓷靶材模 块制备，圆形靶材模块的直径和一个或多个环形靶材模块的内 径和外径尺寸满足嵌套关系；步骤 3，贯通孔制备，在圆形靶 材模块和一个或多个环形陶瓷靶材模块的侧部制备贯通孔；步 骤 4，组合靶材，利用贯通柱将圆形靶材模块和一个或多个环 形陶瓷靶材模组装成套装靶材。通过该方法制备的靶材，解决了多部分可组装靶材在 PLD 设备中的脱落问题，利用不同的激 光，同时聚焦于不同的靶材模块，靶材模块的材料不同，实现 了 PLD 的共沉积。