[01919340]一种应用于多脉冲激 光共沉积的靶材
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技术详细介绍
本发明提供了一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材，包括可被 独立拆装的圆形靶材模块和环形靶材模块，所述圆形靶材模块 置于环形靶材模块中间固定成圆形靶材，圆形靶材模块和环形 靶材模块的侧壁设有贯通孔，贯通孔内设有贯通柱，贯通柱的 两端露出设置。本发明所提供的靶材结构，包括至少两个可被 独立拆装的靶材模块，且该结构与现有的 PLD 靶托配合使用， 解决了多部分可组装靶材在 PLD 设备中的脱落问题，这样，当 某一个靶材模块随着工艺的进行己经消耗至需要更换的程度 时，可以仅对该靶材模块进行更换，而其它的靶材模块则可被 继续使用。