[01922546]高分辨率微镜阵列光调制芯片（DMD）
联系人：刘雷
所在地：江苏苏州市
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技术详细介绍
适宜转化地区/区域：全国
应用领域和场景：本成果聚焦于智能车载显示、微型光学投影、高精度3D制造和医疗数字成像等领域，针对高分辨率、快速响应与高可靠性需求，提供核心光调制器件解决方案。
成果简介：
中国科学院苏州纳米所科研团队研制出高性能微型数字微镜阵列芯片（DMD），单元微镜缩小10μm，兼具高光效、快速响应与高可靠性。芯片适配智能车载HUD、自适应大灯、微型投影与高精度光制造，满足小型化、高分辨率应用需求，具备量产与产业化转化潜力。
本项目使用研究所的纳米加工平台，实现了实现了微镜阵列的批量制造与封装测试。关键设备包括Nikon-I10光刻机等，保障了研发的高精度和高一致性。并且自主搭建的高精度光学测试平台和先进的MEMS芯片设计工具，成功完成了DMD芯片的微镜阵列结构设计、性能测试。