技术详细介绍
蓝宝石抛光液配方技术开发及转让。
蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。
蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光，如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
蓝宝石抛光液的特点:
1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。
2.高纯度(Cu含量小于50 ppb)，有效减小对电子类产品的沾污。
3.高平坦度加工，蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。
4.酸性碱性的都有。