技术详细介绍
本发明描述了一种铟锡氧化物靶材的制备方法（专利号201210424320.0）。该方法以纯度大于99.99%、平均粒径0.02~2微米的铟锡氧化物粉末作为主原料，与由纯水、水溶性环氧树脂和分散剂制成的预混液进行充分球磨混合得到均匀分散、容易流动的浆料，经浇注、固化和干燥后得到高强度生坯，经脱脂，烧结后，得到In2O3单相立方结构、相对密度达到99.5%、电阻率小于0.1mΩ·cm且成分均匀的高质量ITO靶材。本发明所得的ITO靶材密度高，可实现大尺寸化和形状多样化，生坯无需进行等静压处理，生产效率和成品率可大大提高；采用的凝胶体系为无毒水溶性环氧树脂，可有效提高生产安全系数并大幅降低工业化生产对环境的污染。