技术详细介绍
本发明提出一种基于微谐振环阵列分光技术的微量气体探测方法及探测器（专利号201010228839.2），该方法为：红外激光先通过气体室，再进入设有由多个圆环形或跑道形的微谐振环组成的微谐振环阵列进行耦合分光，通过气体室后的红外激光中的共振波长光会被相应的微谐振环的下载波导耦合输出，再由光探测器检测耦合输出光的光强，根据光强的变化检测出待测气体的成分和浓度。探测器的结构为：光源通过光路或光纤与气体室相接，气体室的光输出端通过光纤-波导耦合装置与上载波导相接，多个光探测器与多个下载波导分别连接，上载波导和下载波导之间设有微谐振环阵列。本发明构思巧妙，可以同时检测多种气体，检测精度高，可实现探测器的集成化与便携化。