技术详细介绍
本发明公开了一种同压供给定比配制混合气体的装置和方法，包括储气罐、同压供给装置、待混气体流量调节支路和气流混合室，所述储气罐内的待混合气体先分别存储在同压供给装置内同压，再经待混气体流量调节支路分别定比通入气流混合室内混合。本发明还提供利用上述装置进行制备混合气体的方法。利用本装置和方法，可以对进行任意组分混合气体进行定比配制，保证了待混气体混合前具有相同压力，制备的混合气体浓度更接近目标浓度，并实现了调试过程中使用的气体的重复利用。
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