[00231432]一种二维面阵列超声换能器及其制备方法
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面议
所属行业:
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201510990801.1
交易方式:
技术转让
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技术入股
联系人:
中国科学院深圳先进技术研究院
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所在地:广东深圳市
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技术详细介绍
本发明提出了一种二维面阵列超声换能器及其制备方法,其中,该二维面阵列超声换能器包括:压电阵元阵列层,由M×N个压电阵元排布而成,各个压电阵元由切缝分隔,用于接收或发射超声信号;阵元电极,溅射在压电阵元阵列层的第一表面,按照所述切缝进行切割分隔,其中,每一阵元电极对应一压电阵元;去耦材料,填充在所述切缝,用于减少各个压电阵元的串声干扰;背衬块,与阵元电极粘结,用于吸收压电阵元背面的声能;电极引线,设置在背衬块中,每一电极引线分别连接一压电阵元,用于将电极信号接入到外部系统电路;公共电极,溅射在所述压电阵元阵列层的第二表面;匹配层,与所述公共电极粘结,用于使所述压电阵元与外部物体之间的声阻抗匹配。
本发明提出了一种二维面阵列超声换能器及其制备方法,其中,该二维面阵列超声换能器包括:压电阵元阵列层,由M×N个压电阵元排布而成,各个压电阵元由切缝分隔,用于接收或发射超声信号;阵元电极,溅射在压电阵元阵列层的第一表面,按照所述切缝进行切割分隔,其中,每一阵元电极对应一压电阵元;去耦材料,填充在所述切缝,用于减少各个压电阵元的串声干扰;背衬块,与阵元电极粘结,用于吸收压电阵元背面的声能;电极引线,设置在背衬块中,每一电极引线分别连接一压电阵元,用于将电极信号接入到外部系统电路;公共电极,溅射在所述压电阵元阵列层的第二表面;匹配层,与所述公共电极粘结,用于使所述压电阵元与外部物体之间的声阻抗匹配。