[00244035]自检测硅微机械电容式麦克风及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
硬件/数码
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200910095918.8
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
浙江工业大学
进入空间
所在地：浙江杭州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
自检测硅微机械电容式麦克风，包括敏感膜和底板、硅基体；敏感膜的周边固定在硅基体上；底板上分布有通气孔，底板通过连接座固定在硅基体上，底板位于敏感膜的正上方，底板和敏感膜之间有空气隔层；各支板分别通过连接支座固定在硅基体上，支板分别通过连接支座与一引线端连接；敏感膜上设有敏感膜引线端。制备所述的麦克风的方法是：制备处三层的敏感膜；在敏感膜上干法刻蚀开引线窗口；制备形成空气隔层的空间；制备底板；在硅基体上腐蚀出声波传入通道；释放出敏感膜和第一支板、第二支板、第三支板。本发明具有能实现电学自检测、结构简单、成本低廉、有利于工业化大生产的优点。
自检测硅微机械电容式麦克风，包括敏感膜和底板、硅基体；敏感膜的周边固定在硅基体上；底板上分布有通气孔，底板通过连接座固定在硅基体上，底板位于敏感膜的正上方，底板和敏感膜之间有空气隔层；各支板分别通过连接支座固定在硅基体上，支板分别通过连接支座与一引线端连接；敏感膜上设有敏感膜引线端。制备所述的麦克风的方法是：制备处三层的敏感膜；在敏感膜上干法刻蚀开引线窗口；制备形成空气隔层的空间；制备底板；在硅基体上腐蚀出声波传入通道；释放出敏感膜和第一支板、第二支板、第三支板。本发明具有能实现电学自检测、结构简单、成本低廉、有利于工业化大生产的优点。
