技术详细介绍
本发明公开了一种基于射频放电的正负离子源
正负离子源包括管体，管体中部连通有进气管；管体上缠绕有放电线圈，放电线圈依次与匹配网络和射频电源电连接；管体的一端与第一盖板密封连接，第一盖板通过绝缘介质连接有正离子引出栅极；正离子引出栅极与直流电源的负极电连接；管体的另一端与第二盖板密封连接，第二盖板通过侧壁与第三盖板密封连接，第三盖板通过绝缘介质连接有负离子引出栅极；负离子引出栅极与直流电源的正极电连接。本正负离子源发明可以使正离子与电子及负离子可以被同时分别引出，解决了背板溅射出的粒子污染离子源及背板发热严重的问题。
正负离子源包括管体，管体中部连通有进气管；管体上缠绕有放电线圈，放电线圈依次与匹配网络和射频电源电连接；管体的一端与第一盖板密封连接，第一盖板通过绝缘介质连接有正离子引出栅极；正离子引出栅极与直流电源的负极电连接；管体的另一端与第二盖板密封连接，第二盖板通过侧壁与第三盖板密封连接，第三盖板通过绝缘介质连接有负离子引出栅极；负离子引出栅极与直流电源的正极电连接。本正负离子源发明可以使正离子与电子及负离子可以被同时分别引出，解决了背板溅射出的粒子污染离子源及背板发热严重的问题。