技术详细介绍
本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法，包括：采集晶圆检测模拟信号，将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区，直至数据达到指定数目；对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明提供的基于FPGA的晶圆检测信号提取方法，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确以及灵敏。
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