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[00257760]采用激光曲面镜反射进行熔硅液位检测的装置及检测方法

交易价格: 面议

所属行业: 检测仪器

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201010246742.4

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 西安理工大学

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所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明公开的采用曲面反射镜线性光学放大的激光液面检测装置,单晶炉的顶部两侧对称开有两个开口,开口上分别设置有激光装置和CCD检测装置,激光装置和CCD检测装置中预设置信号处理装置。本发明利用该装置检测液面高度的方法,先建立模型模拟激光运行路线,计算得到符合要求的曲面镜多项式曲线函数,然后再将加工的曲面反射镜设置在CCD检测装置中,熔硅液面高度的变化就可以反应在CCD传感器上,就可以计算得到熔硅液面实际高度的变化。采用本发明的激光液面检测装置来检测液面高度,能够实时检测单晶炉液面位置,提高了检测装置的精度,便于检测信号的读取,还具有准确度高,检测时间短,故障率低,安装、操作简便等优点。
摘要:本发明公开的采用曲面反射镜线性光学放大的激光液面检测装置,单晶炉的顶部两侧对称开有两个开口,开口上分别设置有激光装置和CCD检测装置,激光装置和CCD检测装置中预设置信号处理装置。本发明利用该装置检测液面高度的方法,先建立模型模拟激光运行路线,计算得到符合要求的曲面镜多项式曲线函数,然后再将加工的曲面反射镜设置在CCD检测装置中,熔硅液面高度的变化就可以反应在CCD传感器上,就可以计算得到熔硅液面实际高度的变化。采用本发明的激光液面检测装置来检测液面高度,能够实时检测单晶炉液面位置,提高了检测装置的精度,便于检测信号的读取,还具有准确度高,检测时间短,故障率低,安装、操作简便等优点。

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