技术详细介绍
摘要：本发明涉及电子薄膜加热器，特别是用于新型电子薄膜材料生长系统的加热器。
加热器由支撑挂、加热灯管和两个环形电极组合而成，发热体为碘钨灯管，加热灯管固定在两个环形电极上，两个环形电极上对称设置有若干个加热灯管安装槽，加热灯管安装在槽内并通过螺钉压紧，外层安装一个反光罩，组成灯光照射式加热器。灯管与电极之间的安装采用快装“L”型槽和螺钉压紧式结构，方便可靠。本发明具有结构简单，制造安装方便，更换灯管快捷，尤其是加热器内还可以置有一个真空室，真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体，即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快，加热均匀，维修简单的特点，广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。
加热器由支撑挂、加热灯管和两个环形电极组合而成，发热体为碘钨灯管，加热灯管固定在两个环形电极上，两个环形电极上对称设置有若干个加热灯管安装槽，加热灯管安装在槽内并通过螺钉压紧，外层安装一个反光罩，组成灯光照射式加热器。灯管与电极之间的安装采用快装“L”型槽和螺钉压紧式结构，方便可靠。本发明具有结构简单，制造安装方便，更换灯管快捷，尤其是加热器内还可以置有一个真空室，真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体，即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快，加热均匀，维修简单的特点，广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。